無塵車間溫濕度主要根據(jù)加工工藝要求確定.. 在滿足加工工藝的條件下,應(yīng)將人的舒適性作為首選。凈化實驗室均已通過醫(yī)藥潔凈檢測中心檢測,為萬級潔凈實驗室。主要開展項目為:CIK細胞免疫治療、DC-CIK免疫治療、超級免疫粒細胞治療等??諝庹{(diào)節(jié)系統(tǒng)必須可靠運行,采用先進技術(shù),合理利用和節(jié)約能源與資源,保證環(huán)境的質(zhì)量和安全,為實驗人員提供所需要的溫度和濕度,保障生物實驗在安全的條件下進行,以確保實驗結(jié)果得準確性。實驗室凈化參與多個醫(yī)療重點課題的實驗和臨床研究,同時參加國際會議和國內(nèi)重點峰會論壇,為當今的細胞免疫治療和癌癥/肝病患者奉獻了自己的一份力量。潔凈實驗必須控制實驗室的潔凈度,對新風進行過濾,使實驗室達到一定的凈化要求。其中排風系統(tǒng)是重點,對于保證實驗室相對負壓環(huán)境和有效過濾室內(nèi)污染排風起著重要的作用。凈化工程的具體過程有不同的溫度要求,但作為一般原則,隨著加工精度越來越精細,對溫度波動范圍的要求越來越小。
例如,在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的平版曝光過程中,玻璃和硅片作為掩模材料的熱膨脹系數(shù)的差別越來越小。直徑為100微米的硅片在溫度升高1度時會引起0.24微米的線性膨脹。因此,有必要保持恒定的溫度?0.1度,濕度值一般較低,因為產(chǎn)品出汗后會受到污染,特別是在半導體車間,怕鈉,不應(yīng)超過25度。
濕度過大會造成更多的問題。當相對濕度大于55%時,冷卻管壁會凝結(jié),如果發(fā)生在精密裝置或電路中,會引起各種事故。相對濕度為50%時,很容易生銹。此外,當濕度過高時,附著在硅片表面的灰塵會被空氣中的水分子化學吸附在表面。相對濕度越高,去除粘附的難度越大,但當相對濕度小于30%時,由于靜電的作用,顆粒也很容易吸附在表面,大量的半導體器件容易發(fā)生擊穿。硅片生產(chǎn)的最佳溫度范圍為35≤45%。
此外,相對濕度有許多因素可能會降低潔凈室的整體性能,包括:細菌生長,房間在室溫下感覺舒適的范圍內(nèi)的靜電荷,金屬腐蝕,水蒸氣凝結(jié),降解光刻等。
因此,濕度控制是無塵車間生產(chǎn)的重要條件。相對濕度是無塵車間和潔凈室運行中常見的環(huán)境控制條件。無塵車間典型相對濕度目標值控制在30-50%范圍內(nèi),允許誤差在較窄的范圍內(nèi)。1%。