萬級(jí)潔凈室的潔凈標(biāo)準(zhǔn)是:
1。塵粒最大允許數(shù)(每立方米);
2。大或等于0。5微米的粒子數(shù)不得超過3500000個(gè),大或等于5微米的粒子數(shù)不得超過20000個(gè);
3。潔凈室優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本低,潔凈室的擴(kuò)充比較容易,在某些特殊用途場(chǎng)所,可并用無塵工作臺(tái),提高潔凈室等級(jí)。微生物(Micro-Organism)最大允許數(shù);
4。浮游菌(fungus)數(shù)不得超過500個(gè)每立方米;
5。沉隆菌(fungus)數(shù)不得超過10個(gè)每培養(yǎng)皿。
壓差:相同潔凈度等級(jí)的潔凈室壓差保持一致,對(duì)于不同潔凈等級(jí)的相鄰潔凈室之間壓差要 ge;5Pa,潔凈室與非潔凈室之間要 ge;10Pa。
10萬級(jí)潔凈室對(duì)溫度(temperature)、濕度無特殊要求時(shí),以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜,溫度(temperature)一般控制(control)在冬季20~22℃;夏季24~26℃;波動(dòng) plusmn;2℃。潔凈廠房目前級(jí)別最高的當(dāng)屬航天航空的航空倉,基本是屬于1級(jí),屬于特殊領(lǐng)域,面積相對(duì)較小。另外對(duì)級(jí)別要求較高的是生化實(shí)驗(yàn)室和高精納米材料生產(chǎn)車間,物聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來需求的一大方向。冬季潔凈室濕度控制在30-50%,夏季潔凈室濕度控制在50-70%。
配電:潔凈室(區(qū))的主要生產(chǎn)(Produce)用房一般光照強(qiáng)度值宜 ge;300Lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘(zhá)室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。凈化車間是指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計(jì)施工過程即可稱為凈化工程。