靜電是凈化車間非常難控制(control)的因素(factor)之一,靜電能增加半導體器件生產(chǎn)(Produce)中的浪費,降低(reduce)電子設(shè)備的可靠性。因此,凈化車間在半導體器件的生產(chǎn)中,所有的制造階段都需要防止靜電對器件的影響。
消除靜電(是一種處于靜止狀態(tài)的電荷)的方法有很多,凈化車間工程中經(jīng)常采用以下方法進行防靜電環(huán)境要求:
1、選擇合適的材料:
清潔車間裝修應(yīng)采用不易產(chǎn)生靜電(是一種處于靜止狀態(tài)的電荷)或產(chǎn)生靜電后能迅速泄漏的材料。當多個材料一起使用時,應(yīng)選擇電氣順序表中相互靠近的材料。所有材料可分為電導體或電絕緣(insulated)體。導體是電流(Electron flow)可以通過的材料,絕緣體(定義:不善于傳導電流的物質(zhì) )是電流不能通過的材料。
2、接地:
接地是消除帶電導體中靜電較常用、非常經(jīng)濟、非常簡單、非??煽康姆椒ā?br>(1)凈化車間內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動液體、氣體或粉末管道應(yīng)采取防靜電接地措施。
(2)電子工業(yè)潔凈室的圍護結(jié)構(gòu)(天花板、地板、墻、柱)應(yīng)采用防靜電(是一種處于靜止狀態(tài)的電荷)裝飾,以抑制粉塵(形態(tài):固體微粒)的帶電吸附。
(3)工藝設(shè)備接地。
(4)辦公設(shè)備應(yīng)采用防靜電(是一種處于靜止狀態(tài)的電荷)材料,并接地。電子廠凈化車間送回風管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板高效送風口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板。地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
(5)員工應(yīng)穿戴防靜電(是一種處于靜止狀態(tài)的電荷)無塵服、鞋、帽、手套、腕帶等。電子廠凈化車間送回風管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板高效送風口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板。地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
3、中和作用:
將帶電體周圍的空氣(靜電(是一種處于靜止狀態(tài)的電荷))電離后,帶電離子在電磁場(定義:傳遞實物間磁力作用的場)(electromagnetic field)的作用下遷移,帶電體吸引相反的電荷來中和和消除靜電。靜電消除器是一種能產(chǎn)生電子和離子的裝置。它中和帶電體上的電子、離子和各向異性電荷,從而消除靜電。必須通過靜電中和的方法消除絕緣材料表面和空氣中的靜電電荷。
4、濕度控制(control):
在眾多的靜電消除方法中,室內(nèi)濕度控制(control)也被認為能夠在凈化車間減少和消除靜電。GMP凈化車間GMP要求制藥、食品等生產(chǎn)企業(yè)應(yīng)具備良好的生產(chǎn)設(shè)備,合理的生產(chǎn)過程,完善的質(zhì)量管理和嚴格的檢測系統(tǒng),確保最終產(chǎn)品質(zhì)量(包括食品安全衛(wèi)生等)符合法規(guī)要求。通過在環(huán)境中保持較高的相對濕度,該區(qū)域內(nèi)的物體表面將形成一層薄薄的濕度層。這一薄層可以用來提供導電通道,使電位電荷(electric charge)可以流過濕層以消散靜電電荷。此外,薄的濕氣體層可以增加物體表面的潤滑性,并且通過摩擦產(chǎn)生的電能也會減少。一般來說,濕度越低,產(chǎn)生的電荷越多。然而,數(shù)據(jù)表明,即使在高濕度條件下也能產(chǎn)生明顯的靜態(tài)電壓。然而,在高濕度環(huán)境中,生產(chǎn)商可能(maybe)會感到非常不舒服,零件可能生銹,并可能出現(xiàn)可焊性問題。